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elidzro2既二氧化锆，又名氧化锆。氧化锆超细粉末的制备方法很多，氧化锆的提纯主要有氯化和热分解法、碱金属氧化分解法、石灰熔融法、等离子弧法、沉淀法、胶体法、水解法、喷雾热解法等。粉体加工方法有共沉淀法、溶胶一凝胶法、蒸发法、超临界合成法、微乳液法、水热合成法网及气相沉积法等。氧化锆陶瓷为白色，含杂质时呈黄色或灰色，一般含有，不易分离。世界上已探明的锆资源约为万吨，氧化锆通常是由锆矿石提纯制得。在常压下纯共有三种晶态：单斜氧化锆、四方氧化锆和立方氧化锆，上述三种晶型存在于不同的温度范围，并可以相互转化。三种晶态具有不同的理化特性，在实际应用为获得所需要的晶形和使用性能，通常加入不同类型的稳定剂制成不同类型的氧化锆陶瓷，如部分稳定氧化锆当稳定剂为时，分别表示为等。由亚稳的组成的四方氧化锆称之为四方氧化锆多晶体陶瓷，。当加入的稳定剂是、，则分别表示为、等。纯净的氧化锆是白色固体，含有杂质时会显现灰。

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elidzro2，引言超精密加工技术通常指的是形状和位置精度达到零点几个微米,表面粗糙度优于百分之几微米的加工技术眼演。超精密研抛技术是一种可使器件获得高质量表面的超精密加工工艺,目前超精密研抛技术主要有:非接触抛光、界面反应抛光、电场和磁场抛光等。对于采用金刚石为磨料的固着磨料的研抛,国内外均开展了一系列的研究。日本眼演利用单面研磨机床,应用金属树脂结合剂亚微米级微粉金刚石研磨盘和技术进行硬脆材料的研磨加工,以延塑域磨削加工获得.魡的超光滑表面。澳大利亚悉尼大学眼演采用微粉金刚石磨盘进行硅片研抛加工,研究了超低载荷下单晶硅在纳米尺度的材料去除机理及表面损伤。但这些研究都是针对硅片等硬脆材料。加工机理是加工方法的本质,是超精密加工的关键。超精密加工的境界是达到加工的极限。超精密加工的精度越来越高,机床相对工件的精度裕度已很小。普通切削加工,由于机械进给机构刚度和振动特性的影响,要达到以下切削层厚度。

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