等静压石墨生产设备及工艺

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等静压石墨生产设备及工艺,查看详情多晶硅生产工艺多晶硅生产工艺冶金级硅(工业硅)是制造多晶硅的原料,它由石英砂(二氧化硅)在电弧炉中用碳还原而成。尽管二氧化硅矿石在自然界中随处可见,但仅有其中的少数可以用于冶金级硅的制备。一般来说,要求矿石中二氧化硅的含量应该在以上,并对各种杂质特别是砷、磷和硫等的含量有严格的限制。冶金硅形成过程的化学反应式为:。在用于制造多晶硅的冶金硅中,要求含有以上的,还含有铁、铝、钙、磷、硼等,它们的含量在百万分之几十到百万分之一千(摩尔分数)不等。而硅中的杂质含量应该降到(摩尔分数)的水平,硅中的杂质含量应该降到(摩尔分数)的水平。要把冶金硅变成硅或硅,显然不可能在保持固态的状态下提纯,而必须把冶金硅变成含硅的气体,先通过分馏与吸附等方法对气体提纯,然后再把高纯的硅源气体通过化学气相沉积的方法转化为多晶硅。目前世界上生产制造多晶硅的工艺技术主要有:改良西门子法、硅烷法、流化床。

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