固态装配谐振器smr

固态装配谐振器smr，.压控振荡器设计.压控振荡器设计张大为童筱钧江南大学信息工程学院微电子系，无锡摘要：本文介绍了薄膜体谐振器的基本原理和几种主要结构。讨论了薄膜生长的工艺过程，并给出了本实验各层薄膜的生长条件，本试验所制作的采用固态装配型结构，经测量得的谐振频率为.。根据谐振频率随着电压变化的特性设计出基于的压控振荡器，了由于在压控振荡器中使用变容二极管作为调频元件所引入大量的噪声造成振荡器整体性能降低的问题。关键字：谐振器，薄膜体谐振器，振荡器设计中图分类号：.,’,’,.引言：早在世纪年代前期同时有三篇论文介绍薄膜体谐振器简称为，篇涉及到的真用价值的是年。然而，当时很少有人关注该论文中所提到的一些东西，由于的应用很少，而且几乎没有人对的研究感兴趣。安捷伦公司通过八年的努力，在年开从那以后，成为了一个研究热始量产由于手机的射频前段滤波的双工滤波器。点，出现了频率的带通滤波器的商业产品。

固态装配谐振器smr，刘勇摘要：目前，由于无线应用多元化，造成频谱资源紧张，促使新兴波雷达和无线通信迅速发展，这对波系统提出了新的要求更好的电气性能与更高的集成度。波平面振荡器是波平面集成系统的关键部件，它的性能好坏直接影响整个波平面集成系统的性能以及功能能否实现。在波频段，相位噪声是振荡器最关键的指标之一，因此对高性能低相位噪声波平面振荡器开展研究，具有重大的现实意义。本文基于一种新型的平面传输线结构基片集成波导（,），对波低相位噪声平面振荡器的设计和应用进行了深入研究，主要研究工作可概括为如下几个方面：本文系统地介绍了基片集成波导结构，概括了其基本理论、电气特性和设计方法。本文系统地介绍了振荡器的分析方法和设计理论，详细阐述了振荡器电路的相位噪声特性以及低相位噪声振荡器的实现方法。基于电磁场仿真软件，对谐振器进行了详细研究，包括：谐振频率、品质因数和能量耦合结构等。在此基础上，基于负阻理论，提出一。

固态装配谐振器smr，基于工艺的高性能射频滤波器：体声波滤波器介绍基于工艺的高性能射频滤波器：体声波滤波器介绍隐藏工艺的高性能射频滤波器：体声波滤波器基于工艺的高性能射频滤波器：体声波滤波器过去几年中，随着射频集成电路技术和系统结构的发展，移动电话中射频部分的很多分立器件已被替换。最为明显的是接收机中分立的低噪声放大器和中频滤波器已经被集成到射频集成电路中。可以预期各射频模块将逐步被集成到标准或集成电路中，但还是有几类射频元件的集成不太容易做到，其中包括射频滤波器。所有的移动电话都需要射频滤波器以保护敏感的接收信道，使之免受其他用户的发送信号及各种射频源产生的噪声干扰。移动电话可能要求当信号比干扰信号强度低时仍能工作。而前置放大器无法提供足够小的互调以满足这种要求。体声波和薄膜腔声谐振器滤波器被分别用来替代移动电话中的传统射频滤波器，因为目前其性能已超过表面波滤波器，而且可以通过标准集成电路技术生。

固态装配谐振器smr，第卷第期固体电子学研究与进展。年月＆，基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器马绍宇韩雁‘董树荣李侃周海峰（浙江大学微电子与光电子研究所，杭州，）收稿，一收改稿摘要：提出了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振质量传感器。薄膜体声波谐振器谐振频率非常高（数量级），同时具有很高的品质因数，因此基于这种器件的质量传感器具有非常高的质量灵敏度。提出了三对全金属层作为布拉格声学反射层的，采用作为压电层，制备出了固态装配型传感器。通过淀积不同厚度层顶电极，对器件的质量灵敏度进行了分析，得到质量传感器串联谐振频率在附近，质量响应度达到，可以实现分子量级的质量传感。质量传感器；薄膜体声波谐振器；灵敏度；固态装配型谐振器中图分类号：针对用于生物分子检测领域的质量传感器得到了普遍关注。在各种质量传感器中，基于声波谐振器的传。

固态装配谐振器smr，具有钙钛矿结构的锆钛酸铅（。简称）薄膜由于具有优良的铁电、热释电、电光、声光及非线性光学特性，在微电子等领域具有广泛的应用前景。在技术方面，作为一种压电材料，由于其具有高压电耦合系数，高介电常数，使其在的带宽的改善，器件厚度及尺寸的减小等方面优势显著，特别对于低阻抗，大带宽的器件来说，是优选材料。本论文分别利用射频磁控溅射和技术在不同衬底上制备出高质量的薄膜，并用和等测试手段对沉积薄膜的结构性能进行了表征。论文的主要工作及取得的研究成果在于：采用射频磁控溅射成功制备高质量的薄膜，实验中观察到，高质量薄膜的获得与溅射气氛，衬底状况，以及适当的后续热处理温度，时间有着很大的关系。实验表明，全氩的溅射气氛更有利于薄膜的制备；温度较低，且晶格常数同钙钛矿相相近的衬底有利于获得比较好的结晶情况；并且利用后续热处理工艺，可以提高挥发的势垒，有利于生成钙钛矿结构的压电薄膜。最终，我们在工作气压。

固态装配谐振器smr，第卷第期电子科技大学学报年月.电子信息材料与器件复合双压电层的建模与仿真杨成韬，李健雄，许绍俊，王锐，张树人.电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都.四川石油管理局地质勘探开发研究院成都摘要在复合单压电层薄膜体声波谐振器的基础上，提出了一种新型的复合双压电层，它可以大大提高压电材料选择的灵活性。通过建模得到该结构的输入阻抗解析表达式，据此进行了仿真分析。仿真结果表明，基模谐振频率随双压电层结构中的较高声速压电膜的厚度所占比率的增加而加速增大，而相对带宽随较高机电耦合系数的压电膜的厚度与较低机电耦合系数的压电膜的厚度比的增加逐渐增加，并且复合双压电层出现了单压电层时所没有的模式。关键词解析解双压电层薄膜体声波谐振器输入阻抗谐振频率中图分类号文献标识码.’.薄膜体声波谐振器历经几十年的发展，空气隙型和固态装配型。这种主要压电材料已成功地应用于射频和微波通信领域。由于的部分参。

固态装配谐振器smr，浙江大学硕士学位论文用于的薄膜制备研究姓名：陈海宾申请学位级别：硕士专业：电子科学与技术指导教师：王德苗董树荣摘要具有钙钛矿结构的锆钛酸铅（。简称）薄膜由于具有优良的铁电、热释电、电光、声光及非线性光学特性，在微电子等领域具有广泛的应用前景。在技术方面，作为一种压电材料，由于其具有高压电耦合系数，高介电常数，使其在的带宽的改善，器件厚度及尺寸的减小等方面优势显著，特别对于低阻抗，大带宽的器件来说，是优选材料。本论文分别利用射频磁控溅射和技术在不同衬底上制备出高质量的薄膜，并用和等测试手段对沉积薄膜的结构性能进行了表征。论文的主要工作及取得的研究成果在于：采用射频磁控溅射成功制备高质量的薄膜，实验中观察到，高质量薄膜的获得与溅射气氛，衬底状况，以及适当的后续热处理温度，时间有着很大的关系。实验表明，全氩的溅射气氛更有利于薄膜的制备；温度较低，且晶格常数同钙钛矿相相近的衬底有利于获得。

固态装配谐振器smr，随着半导体工艺和射频通信技术的发展，传统的传感器正逐步实现微型化、智能化、信息化和网络化。薄膜体声波谐振器因其优越的特性，低廉的价格，可与半导体工艺兼容的等优势，显示出广阔的应用前景。实现同电路的单芯片集成，并应用于无线传感网中成为一大趋势。本论文围绕无线传感器单芯片集成技术展开讨论，主要针对的集成制备工艺及建模、无线传感应用系统设计、质量传感特性及传感信息处理芯片等三部分内容展开探讨，为进一步研究无线传感器的集成做出有意义的探索。论文的主要工作及创新点包括：优化设计制备流程，提出了一种电路钝化层上集成制备的新结构及其工艺，设计、流片并测试了几种典型结构的纵波及剪切波。论文分析了的寄生效应，提出一种新的加入寄生参数的等效电路模使用该模型可以有效提高仿真精度，同时可以根据该模型优化设计的结构等。对传感特性进行了测试和分析，在此基础上提出了一种双路计数差频方法采集处理质量传感信息的方。

固态装配谐振器smr，薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用／蒋松涛等薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用”蒋松涛，吴孟强，吴勇，张树人（电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都）摘要薄膜体声波谐振器及滤波器具有工作频率高、工艺简单、尺寸小、易于集成等优点，成为目前应用于高频通信前置滤波器的。系统介绍了用于薄膜体声波谐振器的几种主要材料的具体特点、制备工艺及薄膜体声波谐振器与滤波器的结构、设计及其应用。体声波谐振器滤波器压电薄膜随着现代无线通信技术向高频、高速方向的发展，人们对高频通信常用的前置滤波器提出了更高的要求。目前射频系统中使用的带通滤波器主要有介质陶瓷滤波器和声表面波滤波器。由于介质陶瓷滤波器存在体积偏大和工艺兼容性差等问题，限制了其进一步的发展。尽管滤波器能达到较高的值，几何尺寸也更小，但由于其叉指电极的指宽和间隙与工作频率成反比，增加了光刻工艺的难度，限制了其高频应用。因此，。

固态装配谐振器smr，龙俞兆中国科学院声学研究所刘斌中国科学院声学研究所五部郭新毅中国科学院声学研究所汤亮中国科学院声学研究所鹿力成中国科学院声学研究所庞金城中国科学院声学研究所邓越中国科学院声学研究所齐赛中国科学院声学研究所陈德胜中国科学院声学研究所重点室张学磊中国科学院声学研究所重点室陈宇中国科学院声学研究所重点室李辉中国科学院声学研究所重点室梅璐璐中国科学院声学研究所重点室中国科学院声学研究所重点室吴开明中国科学院声学研究所重点室中国科学院声学研究所李宇刘维唐广鑫中国科学院声学研究所蒯多杰中国科学院声学研究所龚丽辉中国科学院声学研究所中国科学院声学研究所周昌智中国科学院声学研究所陈浩中国科学院声学研究所陈模江中国科学院声学研究所张秀梅中国科学院声学研究所郑林中国科学院声学研究所中国科学院声学研究所叶青华中国科学院声学研究所陈学亮中国科学院声学研究所王杨中国科学院声学研究所张晗中国科学院声学研究所。

固态装配谐振器smr，过去几年中，随着射频集成电路技术和系统结构的发展，移动电话中射频部分的很多分立器件已被替换。最为明显的是接收机中分立的低噪声放大器和中频滤波器已经被集成到射频集成电路中。可以预期各射频模块将逐步被集成到标准或集成电路中，但还是有几类射频元件的集成不太容易做到，其中包括射频滤波器。所有的移动电话都需要射频滤波器以保护敏感的接收信道，使之免受其他用户的发送信号及各种射频源产生的噪声干扰。移动电话可能要求当信号比干扰信号强度低时仍能工作。而前置放大器无法提供足够小的互调以满足这种要求。体声波和薄膜腔声谐振器滤波器被分别用来替代移动电话中的传统射频滤波器，因为目前其性能已超过表面波滤波器，而且可以通过标准集成电路技术生产，极具价格竞争力。天线和前置放大器之间高选择性的射频滤波器保证了只有正确的波段内的信号被放大。分配给移动电话系统的频段是从到.；带宽一般在到之间。波段低于波段，但之间。

固态装配谐振器smr，近年来,微机电系统研究得到了迅猛的发展,用于射频通信领域中的技术,即技术蕴藏着巨大的市场潜力,已经成为研究的热点,受到学术界和政府部门的高度重视。采用微机械技术研制的微机械滤波器是系统的关键器件之一,它不但具有体积小、重量轻、性能稳定等优点外,还能和其他电路元件集成在一起。本文在分析了国内外滤波器研究现状的基础上,根据微机械滤波器的工作原理,提出器件的力学分析模型,设计一种频率为的微机械滤波器。本文通过分析欧拉贝努立方程,得出滤波器的共振频率主要由谐振梁的密度、厚度和长度决定,考虑切变形和转动惯量的情况下,完成微机械谐振梁、支撑梁、驱动电容的设计在软件上进行仿真,分析结果与理论设计比较好地吻合对微机械滤波器的加工工艺进行设计,给出器件的完整的工艺流程,重点介绍微机械表面加工工艺,并在上进行仿真。对微机械滤波器进行展望。韩建强,朱长纯,袁寿财,刘君华,卢文科一种中心频率可调节的。

固态装配谐振器smr，汤亮郝震宏乔东海汪承灏固态装配型谐振器的模拟分析中国声学学会年青年学术会议论文集（下）年许增超李恩何凤梅李仲平唐璞郭高凤带状线谐振器法复介电常数测量的应用与发展中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集（二）年陈晓张国强林宣军林汉柱南方地区开式湖水源热泵的应用中国制冷学会年制冷空调学术年会论文集年金浩王德苗董树荣一种基于薄膜的射频谐振器中国真空学会第六届全国代表大会暨学术会议论文摘要集年王为标汤康君吴浩东周期换能器下声表面波的频率温度特性分析,年公勋章德黄英陈菲石英谐振器中双层电极的温度补偿效应年全国物理声学会议论文集年何朝峰肖功亚赵晓红孙娟王祥邦氮化镓声表面波器件’中国西部地区声学学术交流会论文集年蔡志敏王寒栋沈炳耘绝热喷雾吸收器在扩散吸收制冷中的应用分析第五届全国制冷空调新技术研讨会论文集年。

固态装配谐振器smr，－，－，。－：，＿：薄膜体声波谐振器的结构制备工艺研究黄光俊石玉杨杰赵宝林钟慧网川省成部市建一段四号电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室电子’－薄膜体声波谐振器是基于制造技术而迅速发展起来的器件，由于其具有频率高、体积小、承受功率大、值高、并与集成电路工艺兼容等诸多优点，它成为无线通信臆用领域有潜力的器件之一。制造技术贯穿于体声波谐振器的整个制备工艺过程。是实现器件的基础艺。本文简要阐述了薄膜体声波谐振器的＿作原理，介绍了其三种结构制备的各白特点并结合制造技术对各个结构的制作工艺进行了详细分析和探讨，对器件的主要封装技术进行了简要介绍。体声波封装引言成电路工艺兼容等诸多优势愈发明显，也使其更加符合平¨满足现今无线通信应用领域的微型化、低功时至，薄膜体声波谐振器技术已经历耗、集成化等严厉要求。了近多年的发展。从早在年，制成薄膜体声波谐振器技。

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固态装配谐振器smr，空气中声源激发水下声场的实验研究录取，大字报通过时频面估计信号群延迟的方法研究录取，报告录取，大字报录取，大字报录取，报告录取，报告海豚声纳成像模型研究录取，报告加筋板隔声量的研究录取，大字报不同底质混响空间相关函数仿真分析录取，报告声学导航系统误差分析录取，大字报水下目标辐射噪声宽带谱级的距离折算录取，报告利用多阶谐振频率对多层结构背覆薄层厚度的反演录取，报告岩石三阶弹性常数实验测量初步录取，大字报一种稳健自适应波束形成系统的设计录取，大字报井孔偶极子源声场的复极点分布录取，大字报弹性波传播模拟的谱元法实现录取，大字报录取，报告复杂水声环境中的阵列网络化处理录取，报告海豚信号采集与检测系统录取，大字报固体板及其背覆薄层厚度的两种低频超声反演定征方法比较录取，报告超声新型激励换能系统获得的窄脉冲检测信号录取，报告一种宽容的双线拖曳阵声纳左右舷分辨方法录取，报告录取，报告电磁声实验。

固态装配谐振器smr，固态微型谐振器的工作频率高、功率容量大、损耗低、体积小，是目前有望集成的射频滤波器技术，正成为国内外研究的热点。压电材料的选择及成膜质量是谐振器制作的关键，材料因其具有宽带隙、高声速、高阻抗、低密度等优点而成为制作谐振器的优选材料。本文在前期直流反应磁控溅射法制各薄膜的工作基础上，采用优化的反应磁控溅射法制各了具有择优取向的薄膜，重点研究了不同条件对薄膜择优取向的影响，并利用、和分别表征了薄膜的晶粒取向、表面形貌和薄膜截面。结果表明当衬底温度为”、射频功率为，靶基距为、溅射气压为和时，分别在／电极和电极上可沉积高质量的轴择优取向薄膜。为了制作固态微型谐振器，我们采用直流溅射制备了层交替的和作为布拉。格反射层形成声反射层，和的成膜质量很关键，本文研究了不同条件下和的平滑度，并用进行了表征，结果表明溅射气压，溅射功率，衬底温度时，沉积了粗糙度良好的布拉格反射层结合后期测试方法，借助技。

固态装配谐振器smr，王学东摘要：近年来随着移动通信与个人通信业务的飞速发展和集成电路的高度集成化，作为无线通信系统必不可少的部件之一的滤波器正向小型化发展，同时，随着电子计算机的蓬勃发展，时域有限差分法正成为分析这类电磁问题的强有力工具。本论文提出了几种新颖的小型化，高性能微波滤波器设计，并用法做了分析和研究。论文主要包括以下内容：第三，提出一种抽头式阶梯阻抗带通滤波器，通过在谐振器开路端引入耦合电容，增强两个谐振器之间的耦合，使通带带宽变宽，通带衰减减小，在不改变体积的情况下，使滤波性能得到提高；提出一种新颖的采用阶梯阻抗抽头式带通滤波器，体积只是原来的左右，然而性能比以前好；设计出一种抑制寄生通带的多层陶瓷滤波器，这种滤波器采用短路阶梯阻抗谐振器，在减小体积、减小插入损耗的情况下，有效地抑制滤波器的寄生通带，加宽滤波器的阻带；提出一种小型化旋转对称阶梯阻抗滤波器，利用旋转对称结构，有效地消除了阻。